Сущность эпитаксиальной технологии. Дистилляция. Ректификация

Под эпитаксиальными системами понимаются тонкие многослойные полупроводниковые структуры (так называемые гетероструктуры или наноструктуры), нанесенные с помощью специальной технологии на твердую монокристаллическую подложку. Прогресс современной электроники и компьютерной техники, полностью базирующихся на полупроводниковых материалах, идет в направлении уменьшения размеров электронных систем, увеличения быстродействия и сокращения энергопотребления. С этой точки зрения, эпитаксиальные системы, характеристические размеры которых лежат в нанометровом диапазоне, являются предельно перспективными. Приборы, созданные на основе гетероструктур (сверхскоростные транзисторы, гетеролазеры, светодиоды), уже получили широчайшее применение в оптических линиях связи, в системах записи и считывания компьютерной информации и др.