Применение гидрогенизированного кремния
Доклад, 16 Октября 2012, автор: пользователь скрыл имя
Краткое описание
В настоящее время пленки гидрогенизированного аморфного кремния (ГАК) получают разложением силана в плазме тлеющего разряда. Подложки на которые необходимо нанести пленки ГАК, размещают в рабочей камере и пропускают через нее со скоростью от 0,1 до 30см3/мин смесь газообразного силана с водородом, возбуждая и поддерживая с помощью электромагнитного поля тлеющий газовый разряд. Разложение молекул силана на атомы водорода и кремния, осаждаемые на подложке, происходит в плазме тлеющего